沈阳市工商联合会：

贵会提出的《关于进一步促进集成电路装备产业发展的提案》收悉。感谢贵会对沈阳集成电路装备产业的关注和支持！收到贵会的提案后，我局会同浑南区、市人社局、市财政局进行了认真研究，对所提建议充分汲取的同时，积极开展办理工作。现将办理情况答复如下：

第一部分 沈阳集成电路装备产业发展情况

集成电路装备（以下简称“IC装备”）位于集成电路制造业的上游，占集成电路产业链投资的70%，其发展水平直接决定集成电路制造业的整体水平，是国家先导性、战略性产业。沈阳IC装备产业经过多年发展，已初具规模和实力，集聚和培育出了一批优势骨干企业，在薄膜沉积、涂胶显影、湿法刻蚀、清洗机等整机装备和罗茨干泵、真空机械手等关键单元部件产品等方面形成了独具特色的产业配套体系和批量生产能力，产品种类覆盖沉积、光刻、刻蚀、封装多个工艺领域，成为国内IC装备产业的三大重点地区之一。沈阳IC装备产业具有以下特点：

一是产业规模不断壮大，保持稳定增长。“十三五”期间，沈阳IC装备产业实现连续五年稳定快速增长，2020年实现产值27.4亿元，比2015年产值增长62.1%，年均增长率达到10.1%。产业已经度过“孵化期”，进入快速产业化阶段，沈阳IC装备产业已经形成了“一项控制系统技术（集成电路生产线智能调度与质量优化控制技术）、八类重要整机装备（PECVD薄膜设备、涂胶显影设备、划片机、湿法刻蚀机、ALD设备、SACVD 设备、喷雾式涂胶机、湿法去胶机）、一批关键单元部件（洁净机械手、罗茨干泵、真空气动闸板阀、SMIF系统及晶片传输设备等21种单元部件和子系统）和一个精密零部件支撑平台（IC装备关键零部件集成制造技术与加工平台）”的配套体系和批量生产能力。2021年度，沈阳IC装备实现产值38.3亿，同比增长39.7%。

二是骨干企业实力不断提升，市场竞争力明显增强。“十三五”期间，沈阳IC装备多类整机产品进入中芯国际、武汉新芯、长江存储、台积电等主流集成电路制造产线并获得客户认可，市场占有率不断提升。12英寸PECVD设备已配适180-14nm逻辑芯片、19/17nm DRAM及64/128层FLASH制造工艺需求；IC关键零部件实现对美国应用材料和东京电子等国际龙头企业的批量供货。干式真空泵成为目前唯一在集成电路领域应用的国产产品，自上市以来迫使国外竞争对手降价40%以上，打破了国际巨头的技术和市场垄断，实现进口替代。拓荆科技、芯源微多次获评“中国半导体设备五强企业”。

一批科技型行业细分领域的品牌企业快速成长。拓荆的PECVD已经在国内主要的芯片厂实现了国际先进进口设备的批量替代；芯源微是国内唯一能提供中高端涂胶显影机的企业，是辽宁省科创板第一股；富创是国内第一国际一流的精密零部件加工企业；中科仪的真空泵、单晶炉等拳头产品已经批量销售到国内大厂，这些企业共同构成沈阳装备制造业的“新四小龙”，在全国甚至全球半导体行业都有一定地位。

三是产业链布局完整，产业集聚发展优势凸显。沈阳IC装备产业链相对完整。产业链上游拥有富创、新松、中科仪、硅基、中科博微等企业，能够供应反应腔、真空干泵、机械手、控制软件、SOI材料等零部件和控制系统；产业链中游为整机装备制造商。拥有芯源微、拓荆、仪表院等企业，可以进行薄膜设备、涂胶显影机、划片机等IC整机制造和系统集成；产业链下游拥有中电科第47所和仪表院等企业，从事集成电路制造和封测。

第二部分  对委员所提意见建议的答复

一、关于推动产业集聚及强链补链

1.进一步完善产业发展的顶层设计

自2020年8月份开始，经多次调研和专家论证、部门征询意见，并经市政府常务会议审议通过，2021年10月份《沈阳市“十四五”集成电路装备产业发展规划》（以下简称《规划》）正式实施。《规划》提出，沈阳将全力打造国家集成电路装备制造产业基地。到2025年，产业基础能力明显提升，企业技术水平和市场竞争力显著增强，产业发展总体规模力争达到200亿元。

2.实施产业链建链固链专项行动

按照省、市关于做好“老、原、新”三篇大文章的总体部署和任务安排，我市出台包括集成电路装备在内的《沈阳市培育壮大“新字号”专项行动计划（2021-2023年）》。《计划》明确了集成电路产业链发展的产业图谱和企业、项目、园区、招商和断点清单，组建专班专人全力推进，确保行动有目标、有措施、有成果。

3.积极培育行业领军企业

近年来，我市通过“管家式”服务和“一企一策”重点扶持，积极引导重点企业开展领军人才引育和组织实施国家重大科技专项任务，实现创新驱动发展；通过投资建设高端晶圆处理设备产业化、高端半导体设备扩产项目等重大产业项目，实现企业规模持续增长和产业竞争力的跨越式提升。力争到2025年我市重点培育发展芯源微、拓荆科技、富创、中科仪等4家骨干企业成为行业领军企业，实现产值100亿元。

4.开展头部企业为引领的产业链建设行动

按照市委、市政府的工作部署，沈阳正在全力开展以行业头部企业为引领的重点产业链建设行动。其中IC装备产业链将以芯源微为头部企业，以持续提升产业基础能力和提高头部企业产品本地配套率为主攻方向，通过本地培育和定向招引，逐步构建从零部件到整机装备的完整的产业链条，推动大中小企业融通发展和全产业链协同发展。到2025年，通过持续开展共性技术、核心技术攻关，壮大企业规模，带动产业集群式发展，将芯源微打造成为东北地区半导体专用设备研发与生产基地和国内半导体装备产业细分市场的“隐形冠军”。

5.出台产业发展的财政奖补政策

一是积极争取省财政专项资金。2021年，省政府专门研究并决定对列入国家重大专项支持的地方配套资金给予全额补贴。我市向省工信厅分两批次推荐6个项目参评，经省工信厅组织评审，6个项目总计获得省财政配套资金1.3亿，为企业项目建设提供了资金支持。

二是及时出台沈阳市支持产业发展财政补助政策。2021年7月26日，市工信局、市财政局联合印发《沈阳市集成电路产业发展政策》。政策重点从技术改造和贷款贴息两方面对集成电路企业给予支持。1月11日，市工信局、财政局联合印发《沈阳市集成电路产业发展政策实施细则》并开始施行。一是对集成电路装备、材料、制造、封测企业按照主营业务收入增速不同给予2021年度固定资产投资额一定比例的补助，补助额度最高不超过2000万元。二是对集成电路企业2021年度发生的流动资金贷款利息给予50%的贴息。目前，市工信局牵头正在调研企业项目进展情况，辅导企业用好用足该政策，并抓好政策落实。

三是浑南区设立支持产业园发展的专门政策。2月27日，浑南科技城规划发布暨全球招商大会盛大召开，浑南科技城将为包括集成电路装备制造在内的产业集聚发展提供全球科技创新资源。浑南区科技城推出15条人才新政和12条招商新政，旨在汇聚全球科技领军团队，完善科研人才成长梯队，助力五大主导产业强势崛起。其中：人才新政包括人才认定、人才引进；支持人才发展、加强人才培养；提供人才服务保障等方面的共15条政策。招商新政是在浑南区、高新区原有政策基础上，包括支持招引重大创新研发平台、招引重点创新服务平台、招引创新新型企业及产业化项目、保障园区招商配套体系建设等方面的共12条政策。 

需要说明的是，目前我市对集成电路企业（设计、材料、封装、测试、装备）贯彻执行《国务院关于印发新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策的通知》（国发【2020】8号）中所载明的“五年免征企业所得税”、“两免三减半”等财税政策。同时，针对南方个别城市实施的“对入园企业享受优惠税收（所得税）政策”，“对采购企业采购额实施补贴”等，限于现行国家税法规定和涉嫌违反公平竞争，我市未能出台相关优惠政策条款，但通过“人才新政”和产业园“招商新政”，对产业园区招商企业和重点项目、重点引育人才等多方面支持企业发展。

二、关于建立产业人才联动培养机制

1.促进人才政策落实落地

一是针对高层次人才，实施海内外高精尖优才集聚工程，对新引进培养我市产业发展需要的高层次人才，择优选拔，给予A类：最高500万元奖励、“一人一议”解决首套购房问题；B类：最高250万元奖励、150万元首套购房补贴；C类：最高50万元奖励、100万元首套购房补贴；发放“盛京人才卡”，提供交通出行、文化旅游、娱乐消费等便利服务，提供配偶安置、子女入学、就医诊疗等服务，解决人才后顾之忧。二是针对产业人才，实施产业人才支撑工程。编制《急需紧缺人才需求目录》。围绕我市主导产业和新兴产业领域，“5+3+5+7”产业链重点企业发展对人才的实际需求，综合编制产业《急需紧缺人才需求目录》。企业按照目录引进的人才，给予6-30万元奖励。三是针对人才认定，试点授权我市产业链“链主”单位自主认定符合产业需要的人才，享受相应人才政策；对经其他省会以上城市认定的人才可直接认定为我市相应层次人才。

2.建立产业人才联动培养机制

一是以产业人才需求为主导，大规模多层次开展职业技能培训，大力培育高技能人才。针对性开展“新型学徒制”、“大师带徒”等培训项目。二是针对技能人才，实施“盛京工匠”培养工程。有针对性的发放生活补贴、购房补贴、“技能大师”带徒补贴、技能人才培训补贴；对技能大师工作室、高技能人才培育基地、“双元制”校企合作予以资助；对符合条件的院校发放专业建设补贴、输送毕业生奖励。三是积极推动企业建设学生实训基地。谋划推动辽宁大学（物理学院微电子科学与工程专业）和电科47所、沈阳产业技术研究院联合组建“沈阳市集成电路创新学院”，以国家发改委全创改重点任务揭榜挂帅项目为契机，通过集成电路创新学院建设，推动我市集成电路领域的高校、研发机构和企业深度合作，通过制度改革和人才培养模式创新，培养国家急需人才，推进我市集成电路产业发展。

三、关于促进产业高端人才集聚

近年来，国内先进地区对境外高端紧缺人才的引进相继出台“个人所得税税负超过15%以上部分给予全额奖补，对国内高管及核心技术骨干（年薪30万以上）给予地方税收留存部分全额奖补”的政策，我市集成电路产业除了利用前述“创新沈阳”人才新政（3.0版）所列举的给予产业高端进紧缺人才“首套购房补贴、生活补贴”等奖励政策外，浑南科技城15条人才新政中，还明确“支持人才进行科研创新，提供高端研发及居住空间，免费提供拎包入住的科学家工作坊和院士家园；支持人才创办企业，设立总规模5亿元的东北地区首支区级成果转化投资基金，重点投向人才早期创业项目；在东北地区首创“科技副总”和“首席创新官”制度，给予高端人才在企业经营和技术攻关中的话语权，担任科技副总和“首席创新官”的人才，每年分别给予5万元和100万元补助资金；给予人才经济贡献奖励，按照个人所得税缴纳额度市区留成部分，进行全额奖励。”这些政策的制定和实施，可以很大程度上提高高端人才个人收入，享受相关福利政策，对企业留住人才起到了关键的支撑作用。 

四、关于发挥市级财政投资基金的示范引领作用

2021年以来，我市聚焦集成电路企业发展过程中的资金问题，创新财政资金投入机制，多渠道筹集资金支持重点项目建设，出台《沈阳市投资基金管理办法》（沈基金委发〔2021〕3号），确定投资基金规模100亿元，采取“直接投资＋子基金”的总体运营框架，可直接投资我市集成电路产业重大项目，支持产业转型升级。

同时，筹划设立沈阳市集成电路投资基金。目前，我们会同市相关部门完成对中电科47所等重点企业资金需求进行了专题调研，将视沈阳市政府与中电科集团合作项目资金需求情况，确定基金规模。

第三部分  下一步工作

当前，集成电路装备产业的发展“十四五”目标已经锚定，下一步就是在市委市政府的领导下，汇聚全市各方面的力量，充分借鉴本提案建议和外地经验做法，聚焦做大做强沈阳IC装备产业基地这个主题主业，组织骨干企业实施一批产业创新能力建设项目和产业化项目，积极帮助企业争取国家、省集成电路配套资金支持，落实沈阳集成电路产业奖补政策和人才引育政策，不断提高集成电路产业协同创新能力和产业基础能力，加快集成电路装备制造产业集聚发展，有力助推数字沈阳和智造强市建设，喜迎中国共产党第二十次全国代表大会胜利召开。

再次感谢贵会对沈阳集成电路装备产业的重视和关心。

沈阳市工业和信息化局

2022年4月21日

（联系人：逯松全   联系电话：82702576）