李风莉委员：

您提出的《关于培育壮大沈阳半导体装备产业集群的提案》收悉。感谢您对沈阳半导体装备产业集群发展工作的关注和支持！收到您的提案后，我局进行了认真研究，对您所提建议充分汲取的同时，积极开展了办理工作。现将办理情况答复如下：

第一部分 我市半导体产业集群发展工作开展情况

（一）产业发展概况

沈阳市半导体产业主要由集成电路装备及零部件相关产业构成，目前共有相关企业18家（其中规上企业13家），主要产品包含薄膜沉积、涂胶显影、晶圆切割、封装等整机设备和真空干泵、真空机械手、反应腔等关键零部件，多项产品和技术填补国内空白，产业发展水平国内领先，与北京、上海共同构成国内半导体装备三大重点地区。2022年，沈阳集成电路装备产业实现产值69.8亿元，同比增长82%，产业发展势头强劲，今年预计产值突破80亿元。

（二）推进产业发展的主要工作

一是建立专班工作机制。2022年沈阳市建立了集成电路产业链“链长制”工作专班机制，专班由市发改委、工信局、科技局等部门和相关区县组成，编制了《沈阳市集成电路产业链行动方案（2022-2025年）》《沈阳市集成电路产业“链长制”工作专班方案》等文件，统筹推进产业发展。二是推进谋划一批重点项目。2022年共推进23个在建项目，全年累计完成投资6.2亿。芯源微高端晶圆处理设备产业化、拓荆科技半导体薄膜基地扩产等项目顺利实施。三是积极开展科技攻关。拓荆科技、芯源微、富创、新松、科仪等企业承接国家发改委相关技术攻关专项和科技部“十四五”科技重大专项共7项。项目实施对于突破“卡脖子”技术封锁意义重大。四是大力开展招商引资。辽宁希泰半导体设备精密零部件生产基地项目落户浑南、新引进的沈阳睿昇精密制造有限公司实现产值2.97亿元，贺利氏信越石英半导体生产基地项目在沈阳经开区开工。产业链强链补链延链等工作举措效果显著。

第二部分  对委员所提意见建议的答复

（一）关于加强政府引导和支持作用的建议。

近年来，沈阳市政府大力支持集成电路产业发展。一是加强顶层设计。2021年我市出台了《沈阳市集成电路装备产业“十四五”发展规划》，明确“十四五”时期产业发展目标和方向。2022年印发了《沈阳市深入推进结构调整“三篇大文章”三年行动方案（2022-2024年）》，将集成电路产业作为“新字号”重点产业培育。2022年建立了包括集成电路产业在内的八个重点产业链“链长制”工作机制，专班推进产业发展。二是加强政策资金支持。2021年我市出台了《沈阳市集成电路产业发展政策》及相关细则，对我市集成电路企业技术改造和贷款贴息项目给予支持，2022年5个集成电路项目共获得资金补贴783万元，有效支持了企业项目建设。2022年11月，辽宁省印发《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施》，在企业培育、研发创新、人才引育、投融资和土地供给等方面给予大力支持。目前，我市正在由市发改委牵头起草沈阳市相关配套政策，将与省政策形成合力，重点围绕项目建设、研发创新等提出具体支持措施，扶持我市企业发展壮大。三是积极争取国家和辽宁省政策资金支持。2022年，我市推荐富创、芯源微、科仪、新松机器人、拓荆科技、中科博微等企业承担的7个国家重大项目，向省工信厅申请省级配套资金3.4亿元。2023年我市继续谋划和推进重大项目12个，上报省工信厅，向工信部推荐，争取国家政策和资金支持。

（二）关于规划建设集成电路产业园区的建议。

按照辽宁省集成电路装备产业发展专项规划工作部署，在浑南区规划建设辽宁省集成电路装备产业园。产业园占地5.1平方公里，包括东湖（1.6平方公里）、五三（1.5平方公里）、和张沙布（2平方公里）三个片区。起步区位于五三片区，以新松二厂现有场地为基础，通过适当改造建成一批研发办公用房和生产用房。新建区（张沙布）全力打造成为辽宁集成电路装备和零部件产业聚集区；东湖、五三通过进一步优化空间布局、加大项目引进和建设，做大做强集成电路装备和零部件产业集聚区。市区两级政府将立足产业园区内现有的产业配套服务基础，建设政务服务平台、金融服务平台、企业运营服务平台。以园区为载体，汇聚半导体产业创新研发、公共服务平台、优秀产品解决方案于一体，形成完善的产业配套服务体系。

第三部分  下一步工作

一是推进产业规模壮大，力争今年实现产值80亿元目标。二是积极推进科技研发和产业化项目建设。三是协调推进浑南区集成电路装备产业园区建设。

感谢您对沈阳半导体产业集群建设工作的重视和关心。

                         沈阳市工业和信息化局   

                            2023年3月27日    

  （联系人：齐子恒   联系电话：13909820708）