宗润福代表：

您提出的《关于培育壮大新字号着力发展沈阳半导体装备产业集群的建议》收悉。感谢您对沈阳半导体装备产业集聚发展工作的关注和支持！收到您的建议后，我局进行了认真研究，对您所提建议充分汲取的同时，积极开展了办理工作。现将办理情况答复如下：

第一部分  沈阳集成电路装备产业发展情况

集成电路装备（以下简称“IC装备”）位于集成电路制造业的上游,占集成电路产业链投资的70%，其发展水平直接决定集成电路制造业的整体水平，是国家先导性、战略性产业。沈阳IC装备产业起步较早，经过多年发展，已初具规模和实力，集聚和培育出了一批优势骨干企业，在薄膜沉积、涂胶显影、湿法刻蚀、清洗机等整机装备和罗茨干泵、真空机械手、反应腔、真空气动闸板阀等关键单元部件产品等方面形成了独具特色的产业配套体系和批量生产能力，产品种类覆盖沉积、光刻、刻蚀、封装多个工艺领域，成为国内IC装备产业的三大重点地区之一。总的看，沈阳IC装备产业发展具有以下比较优势和显著特点：

一是产业规模不断壮大，保持稳定增长。“十三五”期间，沈阳IC装备产业实现连续五年稳定快速增长，2020年实现产值27.4亿元，比2015年产值增长62.1%，年均增长率达到10.1%。产业已经度过“孵化期”，进入快速产业化阶段。各重点企业积极开展扩能升级项目，建设高水平装备研发和生产基地，打造智能化柔性生产线，不断改善生产环境，产能得到有效释放，产值实现了爆发式的增长。目前，沈阳IC装备产业已经形成了“一项控制系统技术（集成电路生产线智能调度与质量优化控制技术）、八类重要整机装备（PECVD薄膜设备、涂胶显影设备、划片机、湿法刻蚀机、ALD设备、SACVD 设备、喷雾式涂胶机、湿法去胶机）、一批关键单元部件（洁净机械手、罗茨干泵、真空气动闸板阀、SMIF系统及晶片传输设备等21种单元部件和子系统）和一个精密零部件支撑平台（IC装备关键零部件集成制造技术与加工平台）”的配套体系和批量生产能力。

2021年度，沈阳IC装备制造业克服新冠疫情、中美贸易战等因素影响，积极把握市场机遇，持续加大研发投入和市场开拓力度，重点企业芯源微、富创、科仪、47所等企业生产经营稳定有序，订单、产量、产值均实现大幅增长，部分企业实现翻倍。企业经济运行数据逐月向好，产业基础创新能力显著提高，产业链供应链趋于稳定，产业发展持续向好，全年实现产值38.3亿，同比增长39.7%。

二是骨干企业实力不断提升，市场竞争力明显增强。“十三五”期间，沈阳IC装备企业在市场拓展方面不断取得收获。多类整机产品进入中芯国际、武汉新芯、长江存储、台积电等主流集成电路制造产线并获得客户认可，市场占有率不断提升。12英寸PECVD设备已配适180-14nm逻辑芯片、19/17nm DRAM及64/128层FLASH制造工艺需求；IC关键零部件实现对美国应用材料和东京电子等国际龙头企业的批量供货。干式真空泵成为目前唯一在集成电路领域应用的国产产品，自上市以来迫使国外竞争对手降价40%以上，打破了国际巨头的技术和市场垄断，实现进口替代。拓荆科技、芯源微多次获评“中国半导体设备五强企业”。

一批科技型行业细分领域的品牌企业快速成长。拓荆的PECVD已经在国内主要的芯片厂实现了国际先进进口设备的批量替代；芯源微是国内唯一能提供中高端涂胶显影机的企业，是辽宁省科创板第一股；富创是国内第一国际一流的精密零部件加工企业；中科仪的真空泵、单晶炉等拳头产品已经批量销售到国内大厂，这些企业共同构成沈阳装备制造业的“新四小龙”，在全国甚至全球半导体行业都有一定地位。

三是产业链布局完整，产业集聚发展优势凸显。沈阳IC装备产业链相对完整。产业链上游拥有富创、新松、中科仪、硅基、中科博微等企业，能够供应反应腔、真空干泵、机械手、控制软件、SOI材料等零部件和控制系统；产业链中游为整机装备制造商。拥有芯源微、拓荆、仪表院等企业，可以进行薄膜设备、涂胶显影机、划片机等IC整机制造和系统集成；产业链下游拥有中电科第47所和仪表院等企业，从事集成电路制造和封测。

沈阳IC装备产业注重特色定位和差异化发展，已经基本形成了横向涵盖材料、零件、功能部件、系统、整机装备等各部分；纵向囊括从孵化、研发、成果转化、成果应用到产业化等各环节的产业体系。在关键IC装备研发、零部件加工平台、技术创新联盟、产学研合作体系建设等方面形成了独具沈阳特色的产业发展模式，成为目前国内IC装备产业链最完整、产品与市场结合最紧密的地区之一。产业区域集中，产业合作紧密，企业与产品间上下游分工合理。随着沈阳IC装备产业化程度不断提高，主导产品已在国内IC加工、医疗器械、太阳能电池等行业实现销售和应用，逐渐进入主流市场。同时，带动了平板显示、太阳能电池、LED等关联产业的发展，形成了以零部件为特色带动整机装备发展，沈阳市浑南区已经形成了以拓荆科技、芯源微、富创精密、中科仪等优秀企业为代表的极具本地根植性的创新型产业集群。沈阳IC装备产业集群已初显了凝聚人才、提升区域创新能力以及在国家创新体系中的地位和特殊作用，也必将在“做好三篇大文章”、用新字号增量带动老字号存量发展以及引领沈阳建设国家中心城市进程中续写新的更大荣光。

第二部分  对代表所提意见建议的答复

诚如您的建议中所述，尽管沈阳IC装备产业取得长足发展，已经具备集群式发展的基础和潜力，但也确实存在产业规模整体偏小，龙头企业引领作用有限，产业链不强等弱项，近年来我市主要从以下方面进行了努力和尝试，也取得了一定成效。

一是坚持企业主体地位和市场对资源配置的决定性作用，积极培育龙头企业。通过“管家式”服务和“一企一策”重点扶持，积极引导重点企业开展领军人才引育和组织实施国家重大科技专项任务，实现自主创新驱动发展；通过投资建设高端晶圆处理设备产业化、高端半导体设备扩产项目等重大产业项目，实现企业规模持续增长和产业竞争力的跨越式提升。重点培育发展芯源微、拓荆科技、富创、中科仪等4家骨干企业成为行业领军企业，力争到2025年实现产值100亿元。

特别是年初以来，按照市委、市政府的工作部署，沈阳正在全力开展以行业头部企业为引领的重点产业链建设行动。其中IC装备产业链将以芯源微为头部企业，以持续提升产业基础能力和提高头部企业产品本地配套率为主攻方向，通过本地培育和定向招引，逐步构建从零部件到整机装备的完整的产业链条，推动大中小企业融通发展和全产业链协同发展。到2025年，通过持续开展共性技术、核心技术攻关，壮大企业规模，带动产业集群式发展，将芯源微打造成为东北地区半导体专用设备研发与生产基地和国内半导体装备产业细分市场的“隐形冠军”。以芯源微为头雁的沈阳集成电路产业方阵，支撑沈阳实现“IC核心设备供应中国、IC零部件配套全世界、IC材料供应全球高端市场”的产品布局。

二是强化政府对产业发展的顶层设计和服务能力提升。为巩固沈阳IC装备产业发展成果，进一步指导和推进沈阳IC装备产业发展，将IC装备产业打造成地区优势产业，推动IC装备国产化替代，解决“卡脖子”难题，自2020年8月份开始，经多次企业调研和专家论证、部门征询意见，并经市政府常务会议审议通过，2021年10月份《沈阳市“十四五”集成电路装备产业发展规划》（以下简称《规划》）正式实施。《规划》提出，沈阳将全力打造国家集成电路装备制造产业基地。到2025年，产业基础能力明显提升，企业技术水平和市场竞争力显著增强，产业发展总体规模达到200亿元。

三是实施产业链建设专项行动，强化产业链固链强链。按照辽宁省做好“老、原、新”三篇大文章的总体部署和工作任务安排，我市出台了包括集成电路装备在内的《沈阳市培育壮大“新字号”专项行动计划（2021-2023年）》。《计划》明确了集成电路产业链发展的产业图谱和企业、项目、园区、招商和断点清单，组建专班专人全力推进，确保行动有目标、有措施、有成果。

四是发挥政策的宏观调控作用，出台支持产业发展的财政政策。去年以来，省、市对集成电路产业发展非常重视，省政府专门研究并决定对列入国家重大专项支持的地方配套资金给予全额补贴。2021年，我市向省工信厅分两批次推荐6个项目参评，经省工信厅组织评审，6个项目共计安排省财政配套资金1.3亿，为企业项目建设提供了资金支持。

同时，为促进沈阳市集成电路产业发展，加大对集成电路企业的资金支持力度，针对沈阳集成电路企业实际需求，7月26日，市工信局、市财政局联合印发《沈阳市集成电路产业发展政策》。政策重点从技术改造和贷款贴息两方面对集成电路企业给予支持，缓解企业发展过程中资金不足的问题，加快推进我市集成电路企业做大做强。今年1月11日，该政策的配套实施细则即《沈阳市集成电路产业发展政策实施细则》业经市工信局、财政局会签并开始施行。

第三部分  下一步工作

当前，集成电路装备产业发展的“十四五”目标已经锚定，下步工作的重点是在市委、市政府的正确领导下，结合“振兴新突破 我要当先锋”专项行动，汇聚全市各方面的力量，充分借鉴您的提案建议和外地经验做法，聚焦做大做强沈阳IC装备产业基地这个主题主业，组织骨干企业实施一批产业创新能力建设项目和产业化项目，积极帮助企业争取国家、省集成电路配套资金支持，落实沈阳集成电路产业发展政策和人才引育政策，不断提高产业链协同创新能力和产业基础创新能力，有力助推数字沈阳和智造强市建设，喜迎中国共产党第二十次全国代表大会胜利召开。

再次感谢您一直以来对沈阳集成电路装备产业的重视和关心。

沈阳市工业和信息化局

2022年3月3日

（联系人：逯松全   联系电话：82702576）